纳米光栅高精密位移传感器

成果简介

针对光刻机、扫描探针显微镜、纳米三坐标机、精密机床等精密加工 / 检测应用需求，创新性提出了纳米光栅自成像位移传感方法，突破了纳米光栅精密制备、多象限信号精密解耦、多元误差精确补偿等关键技术，解决了大量程、高精度、多维度的矛盾难题，实现三维复合测量、10cm 级大量程、±1ppm 高精度性能，可实现一维大量程、一维高精密、三维高集成等不同应用需求，技术水平或产品性能达到国际先进。